半导体材料 光掩膜
1KWWSVZZZKDLEHLZHQNXFRPYNYNg半导体与物理20231003发表于安徽半导体材料:光掩膜我们前面讲解是在晶圆上制造的但是晶圆上的电路图案是怎么形成的呢?你可能会想到光刻机这个设备在芯片制造中非常重要。国内芯片制造的一大瓶颈就是没有最先进的EUV光刻机。不过光有光刻机就能造出芯片吗?当然不是。就像只有相机拍不出照片一样只有光刻机也造不出芯片。除了光刻机之外还需要很多其他的材料和设备比如电子气体、光刻胶、清洗液等等。少了哪一个芯片制造都成了无稽之谈。那么光刻机到底是怎么工作的呢?其实它和相机有些类似都是利用曝光的原理把图案转移到想要的地方。相机是从底片到照片而光刻则是从掩膜...
2023-11-28
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